Projekt je zaměřen na průmyslový výzkum nové technologie výroby výkonových polovodičových součástek, která patří mezi jednu z klíčových technologií současnosti (KETs). Základem polovodičových součástek je takzvaný PN přechod, který se připravuje dotací vybraných chemických prvků, především fosforu a bóru, do křemíkového substrátu. V současné průmyslové výrobě výkonových součástek se k výrobě PN přechodů využívá difuze dopantů z kapalných difuzních zdrojů. Tato technologie neumožňuje dosáhnout vyšší výtěžnosti výroby než je 75 % teoretické výtěžnosti. Důvodem je nízká homogenita připravených vrstev, která, v kombinaci s plánovaným rozložením součástek na křemíkovém substrátu, snižuje výtěžnost nejméně o 25 %. Tato nevýhoda může být odstraněna nahrazením difuzních roztoků roztoky obsahujícími nanočástice –tzv. koloidy. Hlavním cílem projektu je výzkum koloidních difuzních zdrojů fosforu a bóru a jejich aplikace v technologii polovodičových výkonových součástek, především při výrobě usměrňovacích diod. Kolidní difuzní zdroje fosforu a bóru, vyvinuté v rámci průmyslového výzkumu, budou zavedeny do stávajícího technologického provozu, kde nahradí v současnosti používané kapalné difuzní zdroje. Projekt spojuje know-how Ústavu fotoniky a elektroniky v oblasti anorganických nanomateriálů s výrobní technologií výkonových polovodičových součástek společnosti ABB, s.r.o. Výsledky společného průmyslového výzkumu mají být převedeny do technologického provozu a neprodleně zařazeny do výrobního programu uchazeče. Zavedení koloidních difuzních zdrojů do technologie výroby výkonových polovodičových součástek má výrazně snížit energetickou náročnost výroby a efektivitu využití materiálových zdrojů nezbytných pro výrobu finálních produktů.
Menu