>
>
Kompenzace neizoperiodičnosti v heteropřechodech na mikro a nanoporézních polovodičích A3B5 a depozice kovů a polovodičů do mikropórů

Kompenzace neizoperiodičnosti v heteropřechodech na mikro a nanoporézních polovodičích A3B5 a depozice kovů a polovodičů do mikropórů

Poskytovatel: Grantová agentura České republiky (GA ČR)
Hlavní příjemce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR, v. v. i.
Řešitel:
Od: 1. ledna 2010
Do: 31. prosince 2012
Číslo projektu:

Navrhovaný projekt se zaměří na epitaxní růst heterostruktur s velkým mřížkovým nepřizpůsobením na porézních substrátech polovodičů A3B5 a na depozici kovových a polovodičových materiálů do mikropórů. Příprava vysoce kvalitních mřížkově nepřizpůsobenýchepitaxních vrstev je jedním z nejnáročnějších úkolů v  polovodičové technologii. Elektrochemicky připravené mikro a nanopóry v InP a GaAs budou zarůstány metodami LPE a MOCVD za účelem vyhodnocení (a) konverze pórů do mikrobublin a mikrolamel, (b) očekávaného snížení hustoty dislokací prorůstajících do deponované vrstvy a (c) rozložení deformace v oblasti heterorozhraní. Plazmová chemická depozice a elektochemická depozice bude použita pro nanášení ZnO do mikropórů a na porézní GaP substráty za účelem studia optických vlastností těchto struktur. Platina bude elektrochemicky nanášena do porézních sítí jakožto první krok k přípravě metamateriálů. Strukturní, elektrické a optické vlastnosti budou studovány pomocí optické mikroskopie, SEM, AFM, SIMS, mokrého leptání, měření Hallova jevu, fotoluminiscence a mikrokatodoluminiscence.

Skip to content