Nové technologie přípravy pasivních a aktivních planárních struktur na bázi uhlíku a nitridů uhlíku pro integrovanou optiku

V roce 1998 byl dokončen projekt řešený na pracovišti VŠCHT, FEL ČVUT a ÚRE AVČR a financovaný GAČR, který byl zaměřen na problematiku výzkumu technologií přípravy planárních a kanálkových plynovodů na polovodičových a dielektrických podložkách. V průběhjeho řešení se podařilo s pozitivním výsledkem ověřit i možnost přípravy vzorků kvalitních planárních vlnovodů na bázi tenkých vrstev uhlíku a nitridů uhlíku plazmatickou depozicí z plynné fáze,. čímž se otevřela i možnost aplikace těchto materiálů ve strukturách integrované optiky. Pokud je navrhovatelům známo, nebyla tato výhodná aplikace pro uvedený účel ještě zkoumána. Smyslem nově navrhovaného projektu je zjistit detailní vztahy mezi technologickými podmínkami přípravy uvažovaných vlnovodných vrstev a jejich reálnými vlastnostmi a navrhnout a realizovat základní prvky integrované optiky (kanálkové vlnovody, rozbočovače a pod.). Snahou bude ověřit i možnost přípravy aktivních (zesilovacích) struktur a to mj. také s využitím nové originální