Výzkum
a vývoj nových typů plasmonických nanostruktur a mikrofluidních struktur pro
optické biosenzory.
Vybavení pro výrobu nano/mikrostruktur:
- 3D tiskárna pro tisky z tekutých pryskyřic, DLP technologie (MAX X, Asiga)
- přímý zápis laserovým svazkem (MicroWriter ML2, Durham Magneto Optics)
- 3D litografie pomocí 2-fotonové polymerace (Photonic profesional GT2, Nanoscribe)
- elektronová (EBL) a iontová litografie (FIB), včetně přípravy tenkých vrstev rotačním nanášením (e_LiNE plus, Raith)
- sestava pro holografii: helium-kadmiový laser, vlnová délka 325 nm (model IK3031R-C, Kimmon Koha), pevnolátkový laser, 405 nm (CrystalLaser), děliče svazku, zrcadla
- replikace nanostruktur pomocí techniky nanoimprint (PL400, EZImprinting)
- UV lampy pro vytvrzování rezistů, včetně vytvrzování ve vakuu
Vybavení pro charakterizaci nano/mikrostruktur:
- zobrazování vodivých i nevodivých vzorků pomocí elektronové mikroskopie SEM (Versa3D DualBeam, FEI)
- optický profilometr (NewView7300, ZYGO)
- mechanický profilometr (Alpha Step, Tencor)
- 2D/3D imaging systems (MRCL700, Microqubic)
- digitální mikroskop (VisionZ 2)
- peristaltické pumpy (IPC, Ismatec), syringové pumpy (Lagato 180, KD Scientific)
- tlakem řízené pumpy (Cobalt, Elveflow)
Vybavení pro přípravu tenkých vrstev:
- vakuová napařovací aparatura (PLS 570L, PLS 570, Pfeiffer vacuum)
- plazmová technologie pro úprava povrchů (Nano, Diener electronic)
