Multifunkční nanotechnologický přístroj Tescan Lyra 3GM kombinuje techniky rastrovací elektronové a iontové mikroskopie s depozicí a leptáním vyvolaným elektronovým a iontovým svazkem, elektronovou a iontovou litografií, energiově disperzní rentgenovou spektroskopií a hmotnostní spektrometrií time-of-flight. Tento přístroj nám umožňuje pozorovat, obrábět a manipulovat s nanostrukturami, připravovat kontakty na ně, vyrábět lamely pro transmisní elektronovou mikroskopii a provádět jejich elektrické a chemické analýzy in-situ.
Vybavení:
Tescan Lyra 3GM
- Detektory SE a BSE v komoře,
- detektory SE a in-beam BSE v elektronovém sloupci,
- Canion Ga+ fokusovaný iontový svazek (FIB), rozlišení < 5 nm při 30 kV, proud sondy 1 pA až 40 nA,
- systém vstřikování plynu (GIS) s pěti prekurzory,
- dvě nanosondy – Oxford Instrument Omniprobe OP400 a SmarAct,
- EDX detektor Oxford Instrument UltimMax 100,
- Tofwerk Time-Of-Flight SIMS spektrometr,
- load-lock,
- dekontaminátor.
